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外延產(chǎn)品

外延技術(shù) | 外延工藝 | 外延產(chǎn)品 | 外延設(shè)備

序號(hào)	特征	參數(shù)	測(cè)試方法
1	外延層摻雜劑	P,P+:Boron N,N+:Phosphorus, Arsine
2	外延層晶向	<100>,<111>
3	外延層電阻率	P,N:10^-1 ∽ 10²Ω·cm	ASTM F723
4	外延層電阻率中心值偏差	≤±5%	For 6'
5	外延層電阻率均勻性	≤±3%	For 6'
6	外延層厚度	1 to 100 Micrometer	ASTM F95、F110
7	外延層厚度中心值偏差	≤±5%	For 6'
8	外延層厚度均勻性	≤±3%	For 6'
9	堆垛層錯(cuò)密度性	10/cm²	ASTM F1810
10	滑移線(xiàn)	5條，總長(zhǎng)度不超過(guò)圓片半徑	ASTM F1725 F1726
11	霧	NONE	ASTM F523
12	劃傷	NONE	ASTM F523
13	凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪	NONE	ASTM F523
14	崩邊	NONE	ASTM F523
15	冠狀邊緣	表面上凸起物高度不超過(guò)1/3延層厚度	To be defined
16	異物	NONE	ASTM F523
17	背面沾污	NONE	ASTM F523
18	點(diǎn)缺陷	SEMI標(biāo)準(zhǔn)	ASTM F523

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新傲科技采用SIMOX，BONDING，SIMBOND和SSS四種工藝，利用先進(jìn)設(shè)備來(lái)制備SOI材料，以確保圓片能夠達(dá)到國(guó)際半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)，并能夠滿(mǎn)足當(dāng)今世界主流IC生產(chǎn)線(xiàn)的要求。依靠強(qiáng)大而持續(xù)的技術(shù)支持，整合國(guó)產(chǎn)化襯底片良好的性?xún)r(jià)比以及強(qiáng)大而靈活的加工能力優(yōu)勢(shì)，向客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)化的外延服務(wù)。

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